基本介紹
恒普推出全新一代SiC晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)材料——多孔碳化鉭,主要用于氣相組元過(guò)濾，調(diào)整局部溫度梯度，引導(dǎo)物質(zhì)流方向，控制泄露等?？膳c恒普科技另外一款固體碳化鉭（致密）或碳化鉭涂層，形成局部不同流導(dǎo)的構(gòu)件。
由于熱場(chǎng)中坩堝的材料，石墨、多孔石墨、碳化鉭粉等使用不當(dāng)，會(huì)帶來(lái)碳包裹物增多等缺陷。另外在有些應(yīng)用場(chǎng)合，多孔石墨的透氣率不夠，需要額外開(kāi)孔來(lái)增加透氣率。透氣率大的多孔石墨，面臨加工、掉粉、 蝕刻等挑戰(zhàn)。恒普突破性的推出大孔隙率的高純度多孔碳化鉭，孔隙率最大可以做到75%，國(guó)際領(lǐng)先。
主要特征
≤75%
孔隙率 ≤75% 國(guó)際領(lǐng)先
形狀：片狀
孔隙度均勻
參數(shù)表
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 體積密度(g/cc) | 3.42（ g/cc） |
| 孔隙率(%) | 70% |
| 平均孔徑（um） | 200（um） |
| 抗壓強(qiáng)度（MPa） | 7.2（MPa） |
| 抗彎強(qiáng)度（MPa） | 3.2（MPa) |
| 以上為典型值 |
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