基本介紹
恒普可為各類(lèi)組件、載體提供專(zhuān)門(mén)的碳化鉭（TaC）涂層。通過(guò)恒普行業(yè)領(lǐng)先的涂層工藝，可以使得碳化鉭（TaC）涂層獲得高純度、高溫穩(wěn)定性和高化學(xué)耐受性，可改善SIC/GAN晶體和EPI層的產(chǎn)品質(zhì)量，并延長(zhǎng)關(guān)鍵反應(yīng)堆成分的壽命。采用碳化鉭TaC涂層, 是解決邊緣問(wèn)題，提高晶體生長(zhǎng)質(zhì)量，是“長(zhǎng)快、長(zhǎng)厚、長(zhǎng)大”的核心技術(shù)方向之一。為了推動(dòng)行業(yè)技術(shù)發(fā)展，解決關(guān)鍵材料“進(jìn)口”依賴(lài)，恒普突破性解決了碳化鉭涂層技術(shù)（CVD），達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。
主要特征
超高純度
超高純度能有效避免雜質(zhì)和污染的產(chǎn)生
高溫穩(wěn)定性
2500°C內(nèi)高溫穩(wěn)定性，可實(shí)現(xiàn)超高溫操作
化學(xué)環(huán)境耐受性
對(duì)H2、NH3、SiH4和Si具有耐受性，
能在惡劣的化學(xué)環(huán)境中提供有效保護(hù)
長(zhǎng)壽命不脫落
涂層與石墨本體的強(qiáng)結(jié)合力可以保證長(zhǎng)周期
內(nèi)涂層無(wú)脫落
抗熱震性
抗熱震性可以有效加快操作周期
嚴(yán)格的尺寸公差
碳化鉭涂層覆蓋滿足嚴(yán)格的尺寸公差
參數(shù)表
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 密度 | 14.3 （gm/cm3） |
| 比輻射率 | 0.3 |
| 熱膨脹系數(shù)（×10-6/K) | 6.3（×10-6/K) |
| 硬度（HK) | 2000 |
| 電阻（Ohm-cm） | 1×10-5（Ohm-cm） |
| 熱穩(wěn)定性 | ＜2500℃ |
| 石墨尺寸變化 | -10~-20um（參考值） |
| 涂層厚度 | ≥20um 典型值（35um±10um） |
| 以上為典型值 |
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