籽晶熱壓爐
籽晶粘貼工藝是影響晶體生長的關(guān)鍵工藝之一，籽晶粘貼的品質(zhì)將直接影響晶體生長的品質(zhì)。恒普科技根據(jù)籽晶粘貼工藝的特性而研發(fā)了專門的輔助設(shè)備。其可以有效減少籽晶粘貼過程中產(chǎn)生的各種缺陷，從而提高籽晶粘貼的良率和晶體的最終品質(zhì)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
■ 水平式
- 工作溫度：室溫到500℃
- 壓力控制方式：配重塊、氣缸、絲缸傳動
先進(jìn)技術(shù)
軸徑分離技術(shù)
注：單一爐型不一定涉及全部技術(shù)，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術(shù)應(yīng)用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現(xiàn)象。調(diào)整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發(fā)生改變，從而導(dǎo)致晶體生長界面的凹凸變化、應(yīng)力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區(qū)域的電阻發(fā)熱，達(dá)到籽晶區(qū)域和源料區(qū)域的溫度分別控制，達(dá)到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩(wěn)定晶體生長面型的同時能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進(jìn)材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
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籽晶粘貼工藝是影響晶體生長的關(guān)鍵工藝之一，籽晶粘貼的品質(zhì)將直接影響晶體生長的品質(zhì)。恒普科技根據(jù)籽晶粘貼工藝的特性而研發(fā)了專門的輔助設(shè)備。其可以有效減少籽晶粘貼過程中產(chǎn)生的各種缺陷，從而提高籽晶粘貼的良率和晶體的最終品質(zhì)。